干法

冷等静压成型

① ITO粉按照比例放在高压容器里面，冷等静压成形后，卸压的时候利用 N 级卸压保护，以此来保证靶材密度的均匀性，并且产生 ITO 薄膜。

② ITO粉中加入水、丙酮、无水乙醇，之后放入球磨罐中进行球磨过筛操作，在刚磨具中预先干压，最后再进行冷等静压成形。

密度均匀

成本高、过程繁杂，对于一些形状不规则以及尺寸较大的靶材会造成受力不均匀的情况，所以可能会出现靶材破裂造成工人中毒的情况

冲压成型

① 将胚料放入磨具中，然后对磨具施加压力，让它产生形变，出现一定的外形和大小。

② ITO中加入聚乙烯醇，过筛后加入冲压用的模具中，成型后进行烧结。

可以制作出各种形状的工件，尺寸大小也非常精准，利用自动化技术就可批量生产

再生产时靶材容易开裂

模压成型

① 将粉状、颗粒状、纤维状等塑料加入到一定温度下的模具中，然后对其施压，让磨具内的塑料固化成以定形状。

原料的利用率高，性能稳定，尺寸也好掌握，生产效率高

密度低且分布的不均匀，从而导致在后续的溅射镀膜时会出现结瘤，会减少产品的使用时长

模压成型+冷等静压工艺

① 将 ITO 粉末加入聚乙烯醇进行造粒，得到球形的ITO颗粒倒入模具中，在液压机上用 5-10MPa 压力进行压制，得到粗坯。粗坯再放入冷等静压机中，在大于 150MPa 压力下，得到更均匀、致密度更高的素坯。最后放入常压气氛烧结炉中进行高温烧结。

操作简便，密度均匀，密度高

受液压机尺寸限制较大，生产超大尺寸靶材难度大

湿法

挤压成型

① 将粉料、润滑剂以及粘合剂与水混合，之后将塑料放入磨具内，施加压力使物料成形。

操作简单

靶材的强度小，坯料容易出现裂纹表面会有凹坑

凝胶注模成型

① 将 ITO 原料与有机单体、有机分散剂、引发剂、胶联剂以及水混合球磨，制作出悬浮液，在将悬浮液放入到磨具，产生凝胶反应，得到坯体，干燥后进行烧结。在上面的基础上添加缓释剂和增塑剂就可以制作大尺寸的靶材坯体。

② 在ITO原料中加入无毒的水溶性环氧树脂作为成形剂，球磨后凝固，在进行烧结。

操作便捷、成本低，添加物都是有机物，烧结后不会出现杂质，制作出的靶材稳定性高，均匀性好，另可制作出异形和尺寸较大的靶材

使用过多添加剂，易对环境造成污染

注浆成型

① 在 ITO 浆料中加入粘结剂、保湿剂、润滑剂和消泡剂球磨混合，倒入不锈钢模具内，脱模干燥后的生坯进行烧结得到大尺寸的靶材。可以加入磷化物高密度促进剂提高致密度。

② ITO本身难以烧结，所以需要加入砷、锑、铋、硒、碲或硼等多种元素混合而成的专门助烧剂，在 10Mpa 的压力下浇筑 30 分钟再经过干燥脱脂得到生坯。

成本低密度均匀

坯体易开裂变形，自动化程度低