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桌面式紫外臭氧清洗机（自动开/关门，清洗面积300×300mm,可选加热样品）
- 型号：
- PCE-33
- 产品概述：
- PCE-33是一款桌面式紫外（UV）臭氧清洗机，自动开/关样品门，可选加热样品台，可用于清洗各种基片来达到比较好的涂膜/镀膜效果，最大有效清洗面积300×300mm。此款设备特别适合移除基片上的光刻胶，改善润湿性，清洗钙钛矿太阳能电池基片，SEM&TEM样品，UV聚合物改性等。紫外臭氧清洗已被证明了是一种无酸性，干燥且无损伤地原子级别清洗手段，特别适合清除样品表面的有机物。设备上所用紫外灯管主要发出2种波长的紫外光185nm和254nm,其中185nm紫外光可把空气中的氧变为臭氧，254nm紫外光激活基片表面的有机物分子，两者结合可有效清除基片表面有机物。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
| 产品特点
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·清洗面积较大，大达300×300mm ·样品仓门自动开关
·可移除基片表面各种污染物 ·样品台可加热，最高温度150℃ ·触摸屏控制面板，可设置和现实各种参数
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| 电源要求
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·AC220V，50/60Hz ·总功率：950W
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| UV灯
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·设备中包含一台双波长汞灯 ·波长：253.7nm和184.9nm ·UV灯使用寿命：5000小时 ·UV灯罩区域：300×350mm ·可清洗基片最大尺寸为12英寸，35mm厚度 ·UV灯单独包装，防止运输中损坏 ·UV灯不在质保范围内 
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| 腔体&样品台
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·不锈钢壳体 ·自动滑动抽屉样品仓 ·样品台面积450×450mm ·最大样品厚度：40mm ·一个臭氧排除装置安装在腔体中 ·时间设置范围：0.01秒~99.9小时
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| 加热型样品台
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·加热台最高温度可达150℃，程序控温 ·可设置30段温度段，控温精度±2℃ ·最大加热速率：15℃/min ·样品台和UV灯关之间的距离可调节：20~40mm ·可选加热温度达到300℃，控温精度±0.1mm
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| 排气口
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·一个直径为75mm的排气口在设备后部 ·配有3米的柔性排气管道 
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| 质保
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·一年质保期，终身维护 ·UV灯管不在质保范围内
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| 应用
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·清洗Si基片，GaAs基片，石英和ITO玻璃 ·清洗各种氧化物单晶片，如蓝宝石，STO和LAO ·清洗Au和Pt基片 ·轻金属材料表面氧化 ·活化聚合物材料 ·UV去除光刻胶 ·UV清洗LED显示屏
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