名称 | 1100℃双温区大口径管式炉(6,8.5,11英寸管径)GSL-1100X-XX-S2 |
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设备型号 |
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高纯石英管尺寸 |
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石英舟(可选)最大可兼容8”直径基片 |
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基本参数 | 热偶:K型热偶 建议升温速率:≤10℃/min 温度:1000℃ (1100℃<1h) 电源:AC220,50Hz 最大8KW |
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加热区 | 规格1:加热区长度:600mm 双温区:300mm+300mm 规格2:加热区长度:900mm 双温区:450mm+450mm |
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炉体结构 | ·采用双层壳体结构,并带有风冷系统 ·设备中配有2个氧化铝管堵,设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端(保证恒温区和密封圈的密封性)(点击图片查看详细资料) ·高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命) ·该炉可作为退火或扩散炉,最大可用于8”晶片放在对应石英舟中 |
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加热元件 | 掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以极大程度延长使用寿命) |
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密封法兰 | ·采用铰链式法兰和O形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr(参考值,详情请点击) ·可选购一套温度测试装置(铠装热偶、补偿导线和温度仪表),用于测试炉管内部的温度 ·左侧水冷法兰:真空压力表、不锈钢针形阀和1/4”宝塔嘴接头 ·右侧水冷法兰:kf40真空接口,方便连接到kf40适用的波纹管、泵和kf40挡板阀。(如果您的泵是kf25接口,你需要一个kf40-kf25转接头) |
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温控系统 | ·包含一款YD858P型温度控制器 ·PID自动控温系统 ·智能化50段可编程控制 ·控温精度:±1℃ ·两个温区分别有两个独立的温控系统控制 ·默认DB9 PC通信连接端口 ·通过MET认证 ·可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据 |
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温度校准(可选) | ·定期对管式炉进行温度校准,可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括 ·48”L(1/4”OD)K型热电偶校准 ·一Omega温度校准器 ·热电偶补偿线 ·你可以考虑分子泵,真空度可达10-5Torr
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外形尺寸 | 规格1:1880 L x 700W x 930 H mm 规格2:2180 L x 700W x 930 H mm |
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净重 | 约200 kg |
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质保期 | 一年保修,终身技术支持。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
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真空系统 | ·多种真空系统可选 ·可选购一个冷真空阱,以避免真空泵造成污染 |
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质量认证 | 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。 |
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使用注意事项 | ·炉管内气压不可高于0.02MPa ·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当 ·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ·石英管的长时间使用温度<1100℃ ·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等) |
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应用提示 | ·为了在管式炉内获得准确的温度,在使用前需要校准温度,请点击这里了解如何使用 |