名称 | 1200℃小型分体式真空管式炉(130mm管径)--OTF-1200X-5S |
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产品提示 | |||||||
主要特点 | ·5英寸的石英管和铰链法兰,宽大的腔体可作为箱式气氛炉用(避免了箱式炉炉膛污染问题) ·可用于四英寸基片退火 ·可以作为模块,DIY ALD CVD PVD 蒸发炉 回转炉等(具体请致电) ·采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率 ·采用ABB电器元件 注:铰链法兰选配 |
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相关视频 | 操作视频 拆装热电偶 |
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基本参数 | ·工作温度:1100℃(<0.5小时) ·连续工作温度:1000℃ ·建议加热速率:≦10℃/min ·加热区长度:300mm ·加热元件:掺钼铁铬铝合金 ·电压:AC 220V 50Hz ·功率:3KW ·热电偶:K型 更多参数请联系我们 |
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炉体结构 | ·配有一对不锈钢密封法兰,采用硅胶密封圈密封 ·石英管尺寸:Φ130×750mm ·配有2个氧化铝管堵,使用设备时应放在炉管两端,保证恒温区和法兰密封性 ·右端法兰为KF25接口,用于连接真空泵 ·真空度:10-2torr (采用机械泵) ·安装有一机械压力表,测量范围为-0.1~0.15MP ·采用PID方式调节温度,可设置50段升降温程序 ·带有超温和断偶保护 |
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温控系统 | ·包含一款YD858P型温度控制器; ·PID自动控温系统; ·智能化50段可编程控制; ·内置过热保护和热电偶故障报警; ·控温精度:±1℃; ·默认DB9 PC通信连接端口; ·通过MET认证; ·可选购电脑温度控制软件(用于YD858P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据; |
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真空系统(选配) | ·采用双旋片式机械泵真空度可以达到10-2toor ·如果想要获得更高的真空度(10-5toor or better)可选购国产或进口高真空机组 |
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外形尺寸 | ·炉盖关闭尺寸:440mm(长)×440mm(宽)×460mm(高) ·带法兰支撑(每个260mm),总长:960mm(长)×440mm(宽)×460mm(高) ·炉盖打开尺寸:440mm(长)×440mm(宽)×700mm(高) ·带法兰支撑(每个260mm),总长:960mm(长)×650mm(宽)×700mm(高) ·温度控制器单位:260mm(长)×350mm(宽)×410mm(高) 重量:约48KG |
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认证 | ·此产品已通过CE认证 证书编号: M.2021.206.C67997 ·若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证 |
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质保期 | 一年质保期,终生维护 · 特别提示: 1、耗材部分如加热元件、石英管、样品坩埚等不包含在内 因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |
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产品在线展示 |
科晶实验室用此设备做出的部分结果,以供您参考。
以下数据仅针对合肥科晶设备,不具有普遍性。如果您想了解详细实验方法,请联系科晶实验室索取详细实验报告。同时欢迎您带着材料重复下列参数。
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