升温速率

追温温差

控温精度（恒温精度）

降温速率

可控温度情况（参考）

100℃/min，到400℃

斜率基本恒定；冲温＜1℃；升速减缓点在398℃

应用技术提示

· 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。

· 进入炉管的气体流量需小于200sccm，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。

· 该设备的长时间使用温度为600℃。

· 降温时请利用程序降温，不建议直接按“STOP”键降温，设备温度未降到室温前不要直接关掉设备电源，防止出现安全问题。

· 此炉可以增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE(快速热蒸发）炉（可查看下方的图片自己制备RTE）

· 在进行化学气相沉积后，石墨烯可从金属催化剂转移到另一个基片衬底上，此法可被广泛应用制备二维材料。通过CVD法生长的石墨烯，表面平整度高且无残渣。

· 严禁氧气和氢气同时使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的气体前请严格检查气路的气密性，使用氢气前排空管内的氧气。不用氢气时，应关闭阀门。

· 第一次使用，或长时间不用再次使用时，请分别点击二个“通道清洗”（清洗通道），将管路内有可能存在的污染物或气体进行吹洗。

· 流量计通道采用的材料为: 00Cr17Ni14Mo2 (相当于316L不锈钢) ,氟橡胶等为易腐蚀材料。通入的气体应无水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蚀性气体用户应在定货时声明。

· 不得通氯化物、硫化物、氨气等易腐蚀的气体，否则容易损坏通气管道，混气罐等不锈钢材质的配件。由于通入腐蚀性气体而造成的设备损坏公司售后维修会收取相应的费用。

· 由于气瓶内部气压较高，所以向混气系统内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。减压阀应采用调控范围在0.02—0.25Mpa 的专用气体减压阀（YQY-6（氧）、 YQQ-9（氢）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氩气）等）

· 氢气瓶必须使用专用的减压器，开启气瓶时，操作者应站在阀口的侧后方，动作要轻缓。

· 气瓶应放置在阴凉通风处，避免阳光直晒，又能耐火的专门建筑物或室外，严禁将气瓶和高温设备放在一起。

· 严禁使用瓶口有油污的氧气瓶。

· 每只气瓶最低必须保留0.5 MPa的余压。

可选配件

· 红外灯管为可更换的(图1)，如有需要请联系我们的销售人员。

· 样品架可选：3"O.D的石墨衬底替代AlN陶瓷片。(图2)

· 可选：将含坩埚盖盖规格为87 O.D×71 I.D×12 H mm的石墨坩埚设计三个坩埚架，则可被改造成一个RTE，CSS或HPCVD炉，另外石墨坩埚表面涂有SiC涂层。(图3)

· 多种供气系统可选。(图4)

· 建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。（请点击这里学习如何安装减压阀）(图5)

· 可选购压力控制模块来监控并保持工作腔室压力稳定。(图6)

· 可与气液混合罐配合使用。(图7)

· 可与精密液体气相发生器配合使用。(图8)

          图1                    图2                   图3                   图4

图5                    图6                   图7                    图8