2200℃高温顶部籽晶溶液生长炉
关键字:
晶体生长炉
产品概述:
2200℃高温顶部籽晶溶液生长炉(TSSG)是一套有高频感应加热系统和密封石英腔室组成,采用28段可编程温度控制器控制升温的晶体生长炉系统,带有石墨坩埚与提拉机构,可用于碳化硅、蓝宝石等晶体的生长。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称

2200℃高温顶部籽晶溶液生长炉

产品特点

· 采用高频感应加热系统进行加热,控温系统采用欧陆仪表PID控温,控温精度可达±0.1℃

· 石英腔体配合法兰进行密封,可以实现在真空和气氛保护下运行

· 含有真空密封旋转提拉机构便于用户操作

加热系统

· 工作电压: 三相380VAC ,50Hz   (需配60A空气开关)

· 加热电流:3-28A (需配60A空气开关)

· 最大输入功率: 15KW 

· 振荡频率: 20-100KHZ (固定频率) 

· 感应线圈: 220mm(ID) x 65mm(H) 

· 空气冷却: 后风扇

· 保护系统:带有自动水压、过热、功率过高保护

控温系统

· 采用欧陆仪表Eurotherm控制温度,控温精度可以达到±0.1℃;
· 采用PID方式控温,可设置28段升降温程序
· 采用一根C型热电偶进行测温,热电偶位置设置在石墨坩埚底部。

· 最高加热温度:2200℃(<1小时)

· 长期使用温度:2000℃

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石英腔体和密封法兰系统

· 采用石英腔体作为实验环境,上下两端不锈钢密封法兰,保障了石英腔室的密封

· 石英管尺寸:φ216mm(OD)*φ206mm(ID)*500mm(H)

· 法兰采用氟胶密封圈密封

· 石英管外安装有金属防护罩,防护罩上面有观察窗口,便于观察石英管内部晶体的生长情况。


石墨坩埚和保温材料

· 高纯石墨坩埚: 114 mmOD x 100 mm ID x 142mm Height,  

· 最大容量:样品所占容积应该是石墨坩埚容积的2/3,可生长直径φ2”*高度100mm以下的单晶晶体;

· 保温层:石墨坩埚外环绕三层石墨毡隔热材料,从里到外分别为三层石墨毡,总厚度为45mm,

   石墨保温毯(可耐温2200℃)注意: 石墨坩埚是易耗件

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提拉机构

  采用伺服电机提拉系统

 (提拉速度更为均匀稳定,改善单晶生长质量)

 • 提拉速度:0.8-50mm/h

 • 提拉杆转速:0.1-23r/min

 • 快速升降速度:40mm/min
 • 提拉行程:300 mm

  上部提拉密封系统,采用真空波纹管密封,可以实现在真空密封环境下进行提拉法生长晶体;

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石墨坩埚旋转系统 (选配)

· 放置物料的石墨坩埚可以根据客户的需要,选配旋转功能

· 坩埚旋转速度:0.1-23 r/min(可调)

· 坩埚旋转方向与上部提拉杆旋转方向相反

· 坩埚旋转可以确保物料加热过程中更加均匀


真空系统(选配)

· 机械泵:无油干泵或油泵

· 型号:nXDS15i

· 理论抽气速率:17.1 m3/h

· 极限真空度:0.8 Pa(不带负载)

· 2 Pa(带石英腔体负载状态)

· 泄露率(pa·m3/s):<1×10-7

· 电机功率:300W

· 额定转速:1800rpm

· 外形尺寸:450×300×320(L×W×H)

· 分子泵型号:FF-160/700
· 抽气速率:700L/S

· 极限压强:6×10-7 Pa(不带负载)

· 启动时间:<4min

· 额定转速:36000转/分

· 冷却方式::风冷/水冷

· 抽气口接口尺寸:KF40

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产品尺寸

设备尺寸:约长*宽*高=1200L×1200W×2000Hmm

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重量

200kg


保质期

1年(不包含石英管,O型密封圈圈和加热元件等损耗件)


使用注意事项

· 石英腔体内气压不可高于0.02MPa;

· 由于气瓶内部气压较高,所以向石英腔体内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,

   建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全;

· 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,

   则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

· 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,

   请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责。

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