12英寸近距离旋转蒸发镀膜炉 RTP-Ⅱ-CSS-300

· 载样台最大尺寸Ф300

· 上端载样台可以旋转和上下移动

· 采用分子泵，炉腔体真空度可达10-3Pa

· 输入电源 AC 三相380V 50/60HZ，最大功率：64KW

· 最高工作温度：950℃（＜30min)，长期工作温度：900℃

· 热电偶两根：两根K型热电偶，一根用于测控上加热台，一根用于测控下加热台     

· 加热元件：红外灯管

· 可以载样品最大尺寸：Ф300mm

· 推荐升温速率：10℃/S

· 包含一款EPC300系列欧陆温度控制器

· PID自动控温系统

· 智能化30段可编程控制                                             

· 默认DB9 PC通讯连接端口

· 控温精度：±0.1℃（最高可达）

  所有的电气元件都通过UL或MET认可，并可通过世界范围内的其他相关安全测试

·可选购电脑温度控制软件用于控制升温曲线和导出数据；

·炉腔体尺寸：内径500mm*高460mm

·炉腔体密封：密封采用O型圈+法兰压紧密封    

·观察窗口：炉腔体上留有直径60mm石英观察窗口

·炉腔体连接有磁耦合真空推送器，推送器前端连接有氮化铝挡板，在高真空状态下或气氛下可以对蒸镀源进行遮挡。

·炉腔体另一侧连接有高真空电动插板阀+机械泵+分子泵                          

·炉腔体真空度：最高可达10-3Pa                                          

·不锈钢密封法兰，法兰和加热炉腔之间采用硅胶O型圈压紧方式密封。

·上法兰开启和关闭才用电动方式，由两个同步升降立柱执行，用PC机进行控制

·上法兰装有机械压力表和数显真空计，留有G1/4出气口,KF25真空电极接口

·上法兰连接有压缩波纹管上加热台可以在真空或气氛下上下移动,调节上下加热台距离，调节上下加热区的温差，上加热台移动移动范围：0-25mm

·上法兰连接有磁流体+电滑环+水滑环进行动密封，上加热台通过步进电机进行旋转，旋转速度可调范围：1-10r/min

·下法兰留有KF25真空电极接口和G1/4进气口

·上下加热平台采用圆形需要水冷，两组红外灯管在加热平台内呈井字型排列，使加热温场更加均匀。

·样品支架分别安装在上下加热台上。

·控制系统采用PC机+PLC控制

·可以设定上加热台旋转速度和移动距离，电动开启关闭上法兰。

·可以设定升温曲线（升温，恒温，降温）

·通过PC机可以控制机械泵和分子泵，并显示分子泵转速

·可自动显示记录，温度，真空度，流量，等参数曲线

·可存储10条自定义配方工艺随时调用。

· 配套机械泵，真空度可以达到10-2 ttor

· 配套分子泵，真空度可以达到10-5 ttor

· 型号：CW-6300

· 工作电压：AC 220V 50HZ

· 工作电流：3.4-21A，制冷量：27808Btu/h

· 压缩机功率：300W，水箱容量：45L

· 最大流量：70-116L/min，净重：165 Kg

外形尺寸：1450X1250X2100mm（长*宽*高）

约640kg

1年（不包含红外灯管，氟胶O型圈和加热元件等损耗件）