设备名称型号 | 恒压控制系统GZK-PID-VRD24 (科晶实验室、科晶技术部2022.6.15审核) |
产品特点 | · PLC、触摸屏控制,触摸屏显示真空度及各项工作状态,一键式操作,方便快捷。 · 通过变频器来PID调节真空泵的电机转速从而控制抽气速率,使抽气速率与进气量、漏气率相匹配,从而达到精确的恒压控制 · 600*600的承重台面,可配合科晶其他设备使用,节省空间 |
真空泵 | · 型号:VRD-24 · 电源:220V 50/60HZ · 进气口:KF25 · 抽速:50HZ:6.6L/S 60HZ:7.9L/S · 功率:50HZ:1.1KW 60HZ:0.75KW · 极限真空:4*10-1Pa(不带负载) |
变频器 | · 输入:AC220V · 输出:3*AC380V |
数显防腐真空计 | · 型号:PGC-554 · 电源:DC24V · 测量范围:3.8E-5-1125torr |
操作面板 | 界面上带真空显示值和设定值,一键式操作,方便快捷 |
压力恒定控制范围 | 压力恒定控制范围(进气气氛为氩气): 760mtorr(100Pa)-----225torr(30000Pa)(按照进气量为500sccm) 600mtorr(80Pa)-----200torr(26660Pa)(按照进气量为300sccm) 300mtorr(40Pa)-----185torr(24660Pa)(按照进气量为100sccm) 180mtorr(24Pa)-----100torr(13333Pa)(按照进气量为50sccm) 压力恒定控制精度:180mtorr-----2.5torr(±%10) >2.5torr-----10torr(±%40) >10 torr------200torr(±%5) |
外形尺寸 | 600*600*700mm |
重量 | 98KG |
保质期 | 1年(不包含炉管,硅胶O型圈和加热元件等损耗件) |