恒压系统
型号:
GZK-PID-VRD24
产品概述:
GZK-PID-VRD24恒压系统通过PID控制真空泵的转速来控制抽气速率,进而获得腔室压力 的精密测量和恒压控制,与我公司的管式炉/镀膜仪等设备相结合,实现CVD、PECVD等工艺的压力恒定的精确控制,广泛用于扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜工艺、混气配气系统及其他分析仪器中。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称型号

恒压控制系统GZK-PID-VRD24 (科晶实验室、科晶技术部2022.6.15审核)


产品特点

· PLC、触摸屏控制,触摸屏显示真空度及各项工作状态,一键式操作,方便快捷。

· 通过变频器来PID调节真空泵的电机转速从而控制抽气速率,使抽气速率与进气量、漏气率相匹配,从而达到精确的恒压控制

· 600*600的承重台面,可配合科晶其他设备使用,节省空间


真空泵

· 型号:VRD-24

· 电源:220V 50/60HZ

· 进气口:KF25

· 抽速:50HZ:6.6L/S

      60HZ:7.9L/S

· 功率:50HZ:1.1KW

      60HZ:0.75KW

· 极限真空:4*10-1Pa(不带负载)


变频器

· 输入:AC220V

· 输出:3*AC380V


数显防腐真空计

· 型号:PGC-554  

· 电源:DC24V

· 测量范围:3.8E-5-1125torr


图片1.png

操作面板

图片2.png



界面上带真空显示值和设定值,一键式操作,方便快捷


压力恒定控制范围

压力恒定控制范围(进气气氛为氩气):

760mtorr(100Pa)-----225torr(30000Pa)(按照进气量为500sccm)

600mtorr(80Pa)-----200torr(26660Pa)(按照进气量为300sccm)

300mtorr(40Pa)-----185torr(24660Pa)(按照进气量为100sccm)

180mtorr(24Pa)-----100torr(13333Pa)(按照进气量为50sccm)

压力恒定控制精度:180mtorr-----2.5torr(±%10)

                  >2.5torr-----10torr(±%40)

                  >10 torr------200torr(±%5)


外形尺寸

600*600*700mm


图片3.png

重量

98KG


保质期

1年(不包含炉管,硅胶O型圈和加热元件等损耗件)


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