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管式炉真空自动滑行装置
- 型号:
- EQ-Slide-300
- 产品概述:
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
特点
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EQ-Slide-300 是一款真空自动滑行装置,连接外径80 mm炉管可在真空或气氛下移入和移出样品; 系统分为两种工作模式,一种为快速移动模式,可以实现样品的快速升温和快速降温;另一种为慢速移动模式,可以实现单晶和二维材料的生长。
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移动机构
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·精密螺杆由直流电机通过真空密封可伸缩的波纹管以两种速度驱动: 快速移动模式:300mm/min(恒速) 慢速移动模式:0.5mm-30mm/min(可调) ·样品移动距离:1-300mm(可调) ·移动机构安装在移动工作台上,尺寸为600mmx600mmx600mm
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炉管/法兰
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·一套 KF25 真空接口和外径 80 mm 真空密封法兰,用于连接可伸缩波的纹管和带有KF25接口的炉管; ·可根据客户要求,选配φ100,φ60,φ25等其它尺寸,具体详询我们销售人员 ·真空度:10-5 torr
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样品架
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·波纹管中间安装一根带有隔热管堵的不锈钢棒,棒中插入一根50x50mm石英样品架,用于盛放CVD或退火的样品 ·移动机构底部有一个高度可调的工作台,可以方便对齐 ·可以在样品架下方放置一根 K 型热电偶,用于监测温度
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控制面板
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移动炉架上,有个7英寸触摸屏面板和控制盒,可对所有移动参数进行编程和记录/显示样品的温度
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尺寸图
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操作视频
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应用提示
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该设备仅匹配合肥科晶管式炉,如下链接 |
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