管式炉真空自动滑行装置
型号:
EQ-Slide-300
产品概述:
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特点

EQ-Slide-300 是一款真空自动滑行装置,连接外径80 mm炉管可在真空或气氛下移入和移出样品;

系统分为两种工作模式,一种为快速移动模式,可以实现样品的快速升温和快速降温;另一种为慢速移动模式,可以实现单晶和二维材料的生长。

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移动机构

·精密螺杆由直流电机通过真空密封可伸缩的波纹管以两种速度驱动:

 快速移动模式:300mm/min(恒速)

 慢速移动模式:0.5mm-30mm/min(可调)

·样品移动距离:1-300mm(可调)

·移动机构安装在移动工作台上,尺寸为600mmx600mmx600mm



炉管/法兰

·一套 KF25 真空接口和外径 80 mm 真空密封法兰,用于连接可伸缩波的纹管和带有KF25接口的炉管; 

·可根据客户要求,选配φ100,φ60,φ25等其它尺寸,具体详询我们销售人员

·真空度:10-5 torr

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样品架

·波纹管中间安装一根带有隔热管堵的不锈钢棒,棒中插入一根50x50mm石英样品架,用于盛放CVD或退火的样品

·移动机构底部有一个高度可调的工作台,可以方便对齐

·可以在样品架下方放置一根 K 型热电偶,用于监测温度

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控制面板

移动炉架上,有个7英寸触摸屏面板和控制盒,可对所有移动参数进行编程和记录/显示样品的温度



尺寸图

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操作视频

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应用提示

该设备仅匹配合肥科晶管式炉,如下链接

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