· 设备结合了旋转涂布和雾化喷涂的优点，在大的基底上面实现致密性和高均匀度涂层

· 3个雾化喷头能根据程序设定涂布多层膜

·真空卡盘，可调节夹持度，可固定12英寸或8英寸基片

·一个无油泵，配合真空卡盘来固定样品

·转速：10-3000RPM

·为了安全，建议基底尺寸大于8英寸时，转速低于2000RPM

·3个40mm压缩气体驱动石英雾化喷头

·3个蠕动泵可按程序输入3种不同液体

·3种不同液体可以在旋转喷涂过程中依次注入，可设定流量，和注入持续时间等

·电磁阀连接着每个蠕动泵，保证一次注入一种液体，防止交叉污染

·泵速：

  转速：0.1-100RPM

  估算流速：0.14-140ml/min

·可选购加热盖，最高加热温度100℃

·控温精度：±1℃

·加热元件：环形卤素灯

· 触摸屏控制面板，可设置运行程序

  注入液体的顺序

  每个蠕动泵注入时间

  循环次数

· 转速: 10 - 3000 rpm (非程序)

·AC 110V/220V, 50/60 Hz

·61kg

·雾化旋转涂布机：600mm(L)×740mm(W)×500mm(H)

·控制盒：510mm(L)×460mm(W)×200mm(H)

·一年质保期，终身维护

·设备运转必须放在通风柜中，排除废气（图1）

·薄膜的质量根据浆料粘度，转速和喷雾等参数，需要用户自己探索比较好的工艺

·不要用任何液体过度冲洗真空卡盘，否则液体会漏入到电机，损坏设备。可以用无纺布擦拭清理设备。

·为了进一步优化涂布质量，可用等离子体清洗极片后再涂布，可在本公司选购等离子清洗机或等离子枪（图2&3）

    图1            图2             图3