规格型号 | ·1200℃六通道高洁净氢气炉 GSL-1200X-MGI-6-H2 |
产品特点 | ·采用不锈钢腔体包裹保温材料,保证炉内较高洁净度 ·炉管和腔体夹层内(保温层)通入惰性气体,在使用氢气时如果炉管破裂氢气逃逸到夹层内,不会产生爆炸,使用氢气时设备更加安全 ·可同时放入6个样品,在不同温度下进行热处理 ·高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,表面涂有氧化铝涂层,可提高炉膛加热效率,延长炉膛使用寿命。 ·双层壳体结构,并带有风冷系统,可保证壳体表面温度较低。 ·可选配装压力传感器和电磁泄压阀,具备自动恒、压超压泄压功能,确保设备更加安全 |
应用背景 | ·在清洁室内热处理半导体元件(氢气气氛) |
加热炉基本参数 | · 电源电压 AC三相380V 50/60HZ, · 最大功率:48KW · 最高温度1200℃(≤30min) · 长期工作温度:1100℃ · 控温热电偶:K型 · 加热区长度700mm · 升温速率:≤10℃/min · 加热元件:掺钼铁铬铝电阻丝 |
温控系统 | · 温控模块+PC机控制方式,标配一套控温软件 · 六个通道独立控温,可以一键六个通道升温或停止,单个通道也可以单独控制。 · 包含一款858P 型温度控制器(也可以选配欧陆仪表恒温精度可达±0.1℃) · PID自动控温系统。 · 智能化50段可编程控制。 · 默认DB9 PC通讯连接端口。 · 控温精度:±1℃。 · 所有的电气元件都通过UL或MET认可,并可通过世界范围内的其他相关安全测试 |
不锈钢密封法兰系统 | ·六套水冷法兰,材质:304不锈钢 ·密封方式:采用法兰压紧O型圈方式 ·前端法兰采用KF60卡箍形式方便取放样品,装有机械压力表,截止阀,G1/4进气口 ·后端法兰留有KF25抽气口,出气口和截止阀 · 每个通道有独立的进气和出气口,可实现真空和气氛下烧结制备 |
供气系统 | ·标配有6个独立的进气口,通过6个40-400ml/min浮子流量计进行气流量调节,从左边出气然后和法兰进气口连接。如下图 ·如果需要更精确流量,请选择质量流量控制器供气系统 |
控制系统 | ·通过PC机可以设置升--恒--降温曲线 ·腔体内压力,真空度,温度都可以在PC机上实时显示 ·通过软件可以设置管式炉的清洗模式:手动清洗和自动清洗, 自动模式为真空泵和进气系统自动切换工作,可设定清洗次数 ·通过软件设置恒压烧结模式:在加热炉升温的过程中,选择恒压模式,控制系统自动调节进气和出气量,使加热炉在升温的过程中保持在微正压的状态。(恒压范围100000pa-115000pa) ·实验数据可以进行保存,记录,下载,也可以生成工艺曲线保存,下次实验时调取 |
过压保护 | 两种过压保护措施: ·可选配电子压力变送器,设定排气压力,高于排气压力,排气阀打开加速泄气; ·标配安装过压机械排气阀,设定开启压力(0.04mpa) ·可选装气体报警器,检测到危险气体浓度过高可以自动切断气源 ·可选装与摄像头手机等联动,实现智慧实验室管理。 |
炉管 | ·高纯石英管尺寸: ·25 O.D x 19 I.D x 1200 L (mm) ·50 O.D x 44 I.D x 1200L (mm) ·60 O.D x 55 I.D x 1200 L (mm) ·为了获得更高的工作温度,可选用镍基合金管,温度可达1200℃ ·也可以选择锆合金管,耐碱性腐蚀,长期使用800℃ |
可燃尾气处理装置(选配) | 如在氢气环境下处理样品可以选择氢气尾气处理装置参数如下: ·可适用多种可燃气体的尾气处理(制定气体需提前和销售沟通) ·体积小,安装方便,操作简单 ·内部有电流互感器,检测到电阻丝没有加热时,切断进气和出气 ·电源:AC单相220V 50/60Hz ·功率:200W ·两路进气口,惰性气体进气口(接气源)和氢气进气口(接气源),进气为G1/4双卡套接口 另外可选高通量版本,进出气口数量可定制 ·气源接入后通过浮子流量计(浮子流量计量程0.1-1L/min)调节流量大小,通过G1/4双卡套接头输出后接入管式炉进气口 ·可燃气体从管式炉内输出后接入该设备可燃气体进气口,接口为G1/4双卡套接口 ·点火装置:采用进口电阻丝加热点火,表面涂有氧化铝涂层,减缓电阻丝氧化,装有电流互感器,可以检测电阻丝是否加热。 ·点火异常切断进气和出气,以及加热炉接触器(接口预留,加热炉进行简单改造) ·可外接氢气浓度报警器,检测到氢气浓度报警自动切断进气及点火(接口预留),报警器选配 |
氢气探测器(选配) | · 有两套氢气探测器可供选择: 一套为固定式,安装在固定支架上面,可以实时监测设备氢气的泄漏情况; 一套为便携式,可以随时对设备各个接口进行监测。 · 氢气监测范围:1-1000ppm · 工作温度:-20℃——60℃ · 报警点设置:氢气报警器设置有两个报警 第一级的报警点50ppm,一旦探测到氢气浓度达到此值时,氢气报警器将发出蜂鸣报警声,提醒客户检查泄露点。 第二级的报警点为100ppm,一旦探测到氢气浓度到达此值时,系统自动关闭氢气进气阀。 |
真空度(选配) | · 标配机械泵,三相VRD-36,真空度可以达到10-2 ttor · 配套分子泵,真空度可以达到10-5 ttor |
冷水机(选配) | · 型号:CW-6300 · 电源:AC220V 50HZ · 功率:3.5KW · 工作电流:3.4~18.1A · 制冷量:26826 Btu/h · 水箱容量:40L · 出入水口: Rp1" · 泵最大水流速度:75L/min |
外型尺寸 | ·炉体长宽高:1875*1800*1400mm ·电气柜长宽高:750*600*6800 |
重量 | ·重量约:950KG |