·500 ~ 10000 RPM 旋转速度（程序控制）

·PTFE腔体，最高加热温度200℃，可对旋涂样品进行干燥

·适用基片尺寸5mm-130mm

·配有超声雾化头，可是旋涂液体雾化

·加热型注射泵，可液体加热后再旋涂

·上罩顶部有一个进气口，可在旋涂时通入气体

·3种液体注射方式：

·超声喷头材质为钛合金，配有电源控制器（图1）

·一个是圆锥型-提供窄的雾化喷束~直径2cm

·一个蘑菇头型-提供宽的雾化喷束~4cm

·加热型注射泵，最高温度120℃（图2）

·一个20ml塑料注射器

        图1                 图2                      图3

·PTFE 腔体具有抗腐蚀性

·腔体尺寸: 直径150 mm

·最高加热温度: 200°C (<10分钟)

·一系列PTFE真空吸盘（Φ40mm和Φ10mm）

·配有一台抽速为120L/min的无油真空泵，和直径Φ8mm的真空管

·可储存12条运行程序，每套程序可设置6段步骤

·转速:500 rpm - 10000 rpm （程序设定）

·每个步骤最长持续时间60s

·加速度:100 - 2000 rpm/sec （可调）

·精度:< 5%

·电压：AC 220V

·总功率：1000 W

·旋转电机：24VDC 高速电机

·一个直径为Φ6mm进气口，在PTFE涂布腔顶部，客户通入气体，可在流动气氛环境下涂布样品

·紫外（UV）灯，365nm波长，可用于旋涂材料固化和聚合

·450mm D×280mm W ×340mm H

·一年质保期，终身维护

·设备运转必须放在通风柜中，排除废气（图1）

·薄膜的质量根据浆料粘度，转速和喷雾等参数，需要用户自己探索比较好的工艺

·不要用任何液体过度冲洗真空卡盘，否则液体会漏入到电机，损坏设备。可以用无纺布擦拭清理设备。

·为了进一步优化涂布质量，可用等离子体清洗极片后再涂布，可在本公司选购等离子清洗机或等离子枪（图2&3）

     图1             图2               图3