·2000℃快速升温CVD/PVD管式炉（ 配备加热样品台)  GSL-2000X-RTP

·电源：AC 220V 50HZ

·功率：1.5KW

·最高加热温度： 蒸发舟：2000℃（≤10s）

           样品台：800℃（≤30min）；连续工作温度：700℃

·推荐升温速率： 样品台：≤30℃/min

           蒸发舟：≤100℃/s

样品加热平台：

· 氮化硅陶瓷片作为加热元件，尺寸：52*12*4mm（可放置10*10mm的基片3片，其他尺寸可定制，）

陶瓷片底部有一个K型热电偶，用于测量温度；

·采用PID方式控制温度

·可设置50段温度段

·带有超温和断热电偶保护

·控温精度：±1℃

·样品台最高加热温度：800℃（≤30min），连续工作温度：700℃

物料蒸发舟：

·采用钨舟（蒸发舟）作为加热元件，可以实现快速加热，测温采用红外测温的方式，最快升温速率可达100℃/S；放置物料钨舟容积：0.15ml（直径φ10mm*深度3mm）

·最高加热温度：真空状态下 2000℃（≤10s）

·蒸发舟加热系统有两种加热方式，一种是连续加热方式，一种是脉冲加热方式。

·可根据客户制备工艺不同，选配样品制冷平台。

·制冷样品台可放置样品尺寸：≤φ20*5mm

·炉管材质：高纯石英管

·炉管尺寸：外径φ80*内径φ74*长度500mm

·整个炉管包裹在一个不锈钢防护罩内

·一对φ80mm的不锈钢密封法兰安装在炉管两端，采用硅胶O型圈密封，左端法兰为水冷法兰，法兰上含有水管接头，通过水管与水冷设备连接。

·左端法兰上的一个φ6.35mm的卡套接头为进气口，一个不锈钢针阀控制进气的通断；安装了一个量程为-0.1-0.15MPa的机械压力表用于观察炉管内压力；一个KF25接口为备用接口。

·左端法兰的电极连接处安装了一个电极防护罩，保证了实验的安全性。

·右端法兰上的一个φ6.35mm的卡套接头为出气口，一个不锈钢针阀控制出气的通断，一个KF25接口上安装了一个不锈钢三通，三通的KF16接口上安装了一个皮拉尼真空计，另一个KF25接口为抽真空接口，通过波纹管和挡板阀与真空系统连接。

·右端法兰上焊接了四根电极线，分别与加热线和热电偶连接，电极延伸到法兰内部与内部的加热线和热电偶连接。

·测量温度范围：400-2600℃

·测量精度：±0.5%FS

·重复精度：0.2%

·分辨率：0.5℃

·响应时间：＜5ms

·设备壳体上安装了一个7英寸的触摸屏，蒸发舟的温度控制和样品台的温度控制均可在触摸屏上设置与显示

·电源：AC220V 50HZ

·功率：1.7KW

·工作电流：0.7-8A

·制冷量：6274Btu/h

·水箱容量：10L

·出入水口：外径12mm转接头

·最大流量：16L/min

·型号：VRD-8

·抽气速率：2.2 L/S

·电机功率：370 W

·极限压强：5×10-1Pa（不带负载）

·实际压强：≤5 Pa（带上炉管和密封法兰，冷态下机械泵抽20分钟）

·如果想要获得更高的真空度（10-5toor or better）可选购国产或进口高真空机组

·600mm（L）*600mm（W）*1300mm（H）

·约90KG

·一年质保期，终生维护

1、耗材部分如加热元件、石英管、样品坩埚等不包含在内

2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

· 炉管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）；

· 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全；

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。