·1200℃五温区液相外延法晶体生长炉（针对YIG薄膜，LPE法）  VTF-1200X-LPE

·控制系统采用触控一体机控制

·采用双层壳体结构，并带有风冷系统。

·炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维，最大程度的减少能量损失。

·该设备采用模块化设计，分上中下三部分可以拆开运输，方便进入实验室和运输。

·电动升降样品台,便于客户取放样品和二次加料

·多片式石英管堵，提高洁净度

·带有石英的隔离内腔

·电压：三相 AC380   50/60Hz

·最高温度: 1200℃ (<30min)

·加热炉最大功率：17KW

·额定温度: 1100℃

·推荐升温速率：≤10℃/min

·加热区长度：五个温区1000mm(5*200mm)，每个温区独立控制

·控温精度：±1℃

·热电偶：五根K型热电偶

·加热元件：康泰尔电阻丝

·采用触摸屏+温控器模式

·包含一款欧陆EPC3000系列控制器

·PID自动控温系统

·智能化24段可编程控制

·默认DB9 PC通讯连接端口

·控温精度：±1℃

·所有的电气元件都通过UL或MET认可，并可通过世界范围内的其他相关安全测试

·采用伺服电机+谐波减速器来驱动籽晶杆上下移动

·私服电机+高精度直线模组保证籽晶杆在移动过程中顺滑

·籽晶杆移动有慢速提拉和快速移动两种模式

·籽晶杆可移动范围：750mm

·提拉速度范围：0.02mm/hr--10mm/hr(可调，精度+/-1um)

·籽晶杆旋转速度：1-60RPM

·籽晶杆装到三抓夹头上，三抓夹上方装有弹簧可以调节籽晶杆旋转时同心度

·触摸屏控制面板可控制单晶提拉速度，籽晶杆旋转速度和加热炉的升温曲线

·触摸屏控制面板可以控制样品台升降

·具有温度曲线保存功能，温度曲线数据可以保存记录和导出

·炉膛内装有一根外径150*1175mmm石英管     

·石英管通过上下法兰固定，不锈钢法兰为非密封的（注：法兰主要作用是支撑石英管）

·炉膛上部通过石英管堵保温，下部通过泡沫陶瓷管堵保温

·下法兰装有支撑杆和样品台

·样品台可放置最大坩埚直径100mm

·样品台和坩埚采用电动升降方式，方便取放样

·下法兰和固定板之装有四个弹簧，可以调节下法兰水平

·外形尺寸：1020*1185*3420mm（长*宽*高）

·下部外形尺寸：1020*1185*800mm（长*宽*高）

·中部外形尺寸：1020*1185*1300mm（长*宽*高）

·上部外形尺寸：1020*1185*1320mm（长*宽*高）

·约290kg

·1年（不包含炉管，氟胶O型圈和加热元件等损耗件）

       操作展示视频