• 双温区管式炉：两个独立的温控系统对每个温区进行独立控温

• 电压：220V AC 50/60Hz

• 功率：3KW

• 加热区长度：440mm

• 恒温区长度：300mm

• 温度曲线图(两个温区设置在800℃时所测，仅供参考）（可点击图片查看详细资料）
  

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• 炉管材料：高纯石英管

• 标配炉管尺寸：Φ100（外）×Φ94（内）×640（长）

• 最高工作温度：1200℃（＜1h）

• 连续工作温度：1100℃

• 控温精度：±1℃

• 推荐升温速率：10℃/min

• 一根铠装热电偶通过左端法兰通入炉管内部，并与坩埚相连接，实现温度的实时监测（如图1）

• 升降双通道进料系统放置在一中空的真空腔体中，上方采用不锈钢真空法兰进行密封，两端同样采用不锈钢真空法兰与坩埚推进装置及管式炉进行连接，保证进料在真空状态或者气氛保护状态下进行运作（图2）

• 进料系统真空腔体右端与管式炉连接法兰处安装有2个独立小石英管（图3）

• 在升降双通道进料系统中最多可放入4个坩埚（图4），利用推送系统可交替将4个不同蒸发源单个依次送入石英管中，也可将放入不同材料的2个坩埚蒸发源一同送入，分别精确的推入两个独立的小石英管中（图5），找到所需的蒸发温度处进行共蒸发或者反应蒸发，保证实验的重复性以及稳定性（图6）
  

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•          图1                   图2                  图3                 图4 
  

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•          图5                  图6

• 采用PLC触摸屏控制

• 通过一步进电机控制坩埚的移动速度和位置，进样位置和速度可调

• 可控制坩埚最小移动位移为1mm

• 坩埚最大移动距离为200mm 
  

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机械压力表+数显压力表

• 真空度：10E-2 torr（采用机械泵），10-E5 torr(采用分子泵)
  

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• 此套设备中配有一2路混气系统

• 最大输出功率：18W

• 工作温度：5-45℃

• 精度：±1%FS

• 质量流量计量程：1:0-100sccm  2:1-199sccm

• 可根据客户要求选购1-5路供气系统
  

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• 标配一16L循环水冷系统
  

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• 2600mm(L) x 600mm(W) x 900mm(H)  
  

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一年质保期，终生维护

• 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
  

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• 炉管内气压不可高于0.02MPa

• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

• 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

• 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

• 石英管的长时间使用温度＜1100℃

• 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

此款管式炉具有多种用途：

• 热蒸发：将蒸发料放入坩埚中，通过移动坩埚来精确找到所需蒸发温度

• HPCVD：通入反应气体实现反应蒸发沉积

• 共蒸发沉积或反应蒸发沉积：利用独特的双通道进料装置可以实现两蒸发源的同时送入，实现共蒸发沉积或反应蒸发沉积

• 多层二维晶体：此套设备可以实现多层二维晶体的制备（硒化物硫化物等），操作方便简单，实验更具精确性、重复性。

专利名称：多样品通道自动切换进样系统

专利号：ZL 2016 1 0396131.5

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