800℃ CSS（斜杠）RTP快速热蒸镀炉（配5英寸旋转样品台）-OTF-1200X-RTP-II-5-R （2019.10.24--科晶实验室审核）

1.科晶实验室邀请提示  2.图片未及时更新提示  3.多种配件可选提示  4.危险设备操作提示

·快速升温，最高达10℃/s。

·最高温度可达800℃。

·由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部，两温度控制器进行独立控温。

·两样品台距离以及旋转均可通过触摸屏控制。

·顶部载样台可旋转。

·工作温度：最高800℃，两个加热区之间的最大温差为300℃  

·最快升温速率：10 ℃/s

·冷却速率：>10 ℃/s（800-300℃）       

·真空度：20Pa（机械泵），10E-1Pa（分子泵）

·控温精度：+/-0.1℃（欧陆表）           

·加热元件：红外灯管 

·最大功率：10KW(>50A保险)        

·热电偶：K热电偶

·超温和断偶保护        

·设备电源：AC220V/50HZ 单相

更多参数请联系科晶销售部

·由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部

·两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节（触摸屏控制）

·顶部载样台转速可调，0-10 r/min（触摸屏控制）

·为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率，加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中（不锈钢壳体采用316不锈钢制作）

·采用导热率较高的氮化铝陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作为载样台，以达到较好的加热均匀性

·真空法兰为316不锈钢制作

·顶部法兰（可通过控制盒进行上升和下降）：

  一机械压力表

  一KF16接口，可以安装防腐真空计

  两个不锈钢精密针阀用于气体的进出

·底部法兰：

  一KF25接口，可以与真空泵相连接

  法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封

790mm × 600mm × 1100mm

·若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或者CAS认证。

一年质保期，终生维护（不包括密封圈、加热元件和石英管）