·2100℃上称重CZ晶体生长炉  SKJ-50CZ

·采用高精度上称重模式CZ晶体生长

·配有中频/高频电源，可以真空感应熔炼和磁悬浮真空熔炼炉两用，

·真空度最高5.0*10-3pa

·配有自动控制和预设工艺的软件系统

·电源电压：三相 AC380 50/60Hz

·总功率：80KW

·最高熔炼温度:2100D℃

·中频电源功率：35KVA,电源频率：1-20KHZ, 输出电流：10-70A 输出电压：70-550V

·高频电源功率：30KVA,电源频率：20-200KHZ,输出电流：7-70A 

·采用SS304不锈钢腔体双层水冷腔体，确保设备工作室表面温度≤70℃

·腔体尺寸:Ф500*700mmH

·腔门上有一个80*300mm的方形观察窗口，方便晶体生长过程中实时观察样品的熔化和生长情况

·腔体上部安装了一个量程为-0.1-0.5MPa的机械压力表用于观察腔室内压力情况

·预留G1/4进气口，并通过一个不锈钢针阀控制进气的通断

·预留G1/4出气口，并通过一个不锈钢针阀控制出气的通断

·安装了一个安全泄压阀，当腔室中压力大于一定值时将自动泄压，确保腔体的安全

·装有摄像头，用于摄录晶体生长过程

·装有红外测温仪，用于测量坩埚内物料温度

·采用伺服电机+谐波减速器来提拉籽晶杆

·采用高精度直线模组可以防止晶体生长提拉过程中卡顿

·体移动有慢速提拉和快速移动两种模式

·提拉行程：200mm

·提拉速度：0.03mm/hr--30mm/hr(可调，精度+/-1um)

·籽晶杆旋转速度：1-60 rpm

·可根据客户要求来定制炉体移动速度范围

·设备标配一套上称重系统，可以精确的控制晶体生长过程中的工艺参数。

·秤量程：5KG

·称精度：0.1g

·整个电路控制系统在工控机上面实现操作控制,采用国际通用的 labview 软件进行控制，可以实现以下功能：

·生长斜率及控制参数设定；

·控制晶升，动态可调

·控制晶转，可设定多段速自动执行

·检测晶体实时重量并反馈至欧陆表组成闭环控制

·腔体真空和压力检测

·报警监测，晶升晶转中频气压及称量程等上限报警

·实时数据曲线，晶体生长图例模拟

·数据记录，自动存储运行数据

·坩埚组件可以选配：铱坩埚，钨坩埚,BN坩埚，刚玉坩埚，Ta坩埚，石墨等

·坩埚尺寸：外径100mm,壁厚3mm,高80mm,坩埚外部采用石英砂作为保温材料，最外层通过一个石英管进行固定。（注：坩埚尺寸可以依据要求定制）

·此单晶炉常规可生长晶体尺寸为≤Ф2”*高度100mm

（如需要大尺寸单晶生长，可联系我司）

·注：晶体生长尺寸不仅和提拉行程有关系，还和温度、坩埚大小、保温组件，线圈大小等因素相关，

·系统配置一套 UPS 电源，用于紧急断电情况下，对整个控制系统进行不间断供电

• 额定功率：5 KVA

• 输入电源电压：AC 220V

• 输入频率：40-70HZ

• 输出电压：AC 220V

• 输出频率：50/60 HZ

• 功率因数：99.9%（满载）

·测温范围：100℃—3000℃

·测温精度：±1% FS

·重复精度：±0.5% FS

·距离系数: 400:1

·响应时间(95%)： ≤50 ms

·发射率：0.10~1.00 可调 步长：0.01

·模拟输出：4---20mA

·工作电压：24VDC ± 20%

·目视瞄准，可见光斑指示

·系统配置两套水冷设备，一套给感应电源和腔体水冷，一套给磁悬浮熔炼坩埚水冷。

·感应电源和腔体水冷设备技术参数：

·工作电流：8.4-34.6A

·制冷量：49474Btu/h

·最大流量：117L/min

·水箱容量：75L

磁悬浮熔炼坩埚水冷设备技术参数：

·工作电流：2.3-13A

·制冷量：17510Btu/h

·水箱容量：15L

·出入水口： 4 分内牙接口

·最大流量:70L/min

机械泵参数

·型号：VRD-48

·抽气口接口尺寸：KF40

·抽气速率：（48m3/h）13.3L/S

·电机功率：1500 W

·极限压强4*10-2 Pa

分子泵参数

·抽气速率：700L/s

·极限压强：6×10-6 Pa

·气动时间≤9min

·额定转速：3600rpm/min

冷却方式

·抽气口接口尺寸：CF160

·炉体尺寸长宽高：1250*1150*2700mm

·电气柜尺寸长宽高：565*800*1740mm

·中频电源控制柜尺寸：700*400*835mm

·高频电源+中频电源本体尺寸长宽高：1320*820835mm

·UPS电源尺寸长宽高：780*450*600

·重量：1.5吨

·通过CE认证 

·若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

·质保一年，终生维护（不包括，炉膛和加热元件）

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