1700℃小型精确控温蒸发镀膜仪--GSL-1700X-SPC-2 （2019.11.25—科晶实验室审核）

1.科晶实验室邀请提示  2.图片未及时更新提示  3.多种配件可选提示 

·直径6英寸的石英腔体，便于清洁和放入样品。

·安装有一个2英寸的样品台，并且样品台可以旋转，使所制薄膜更加均匀。

·样品台和蒸发源之间的距离可以调节

·气体流量端口和阀门内置可用于腔室净化和CVD实验。

·采用钨丝加热

·控温方式：手动控温/程序控温

·控温精度：+/-1℃

·腔体真空度：5*10^-3Pa（表压只能显示到 1*10^-1Pa）   

·样品室：石英腔体：167mm OD. x 152mm ID x 260mm H

·基片：可装载基片最大尺寸为 50mm

·输出电压：DC 18V             

·最大输出电流：≤30A 正常蒸发电流：≤25A

·输入电源：AC 220V 50HZ/60HZ

·输入功率：600W（不包含真空系统）

·最高使用温度：≤1500℃

更多参数请联系科晶销售部

·采用钨丝篮作为发热源，并且配有专用的氧化铝坩埚，热电偶安装在坩埚底部，以便于温度测量和控制。（图1）

·采用S型热电偶（工作温度为200℃-1500℃）（图2）

·可选B型热电偶（工作温度为1200℃-1700℃）

·安装有一个数显的温度控制器：可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1ºC（图3）

·温度控制器的时间设置以秒为单位，建议将升温/降温速率限制在1200ºC以下0.3ºC/s（20ºC/ min），在1200 - 1500ºC限制到0.15ºC/s（10ºC/min）

·仪器中配有钨丝篮及氧化铝坩埚（图4、图5）

        图1                 图2                     图3                    图4                  图5

·进气接口为1/4NPS，可向真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜

·进气口安装有一针阀，用于调节进气流量

· 安装位置：室内或空旷的露天楼宇及工作室；

· 温度：5-60℃；

· 湿度：30℃环境下≤80%  40℃环境下≤50%无冷凝气体；

· 环境大气压：860-1060mbar。

· 型号：VRD-8

· 电源  AC 220V 50/60 Hz

· 功率：400W

· 进排气连接口：KF25

· 抽气速率：8 m³/h

540*400*710mm（长*宽*高）

40 kg

·此产品已通过CE认证

  证书编号：M.2021.206.C67994

·若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

一年质保期，终生维护

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

         2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。